Messung der magnetischen Permeabilität von Dünnschichtmaterialien
Filmmaterialien mit einer Dicke von weniger als 1 Mikrometer werden als Dünnschichtmaterialien bezeichnet und finden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiter-Funktionsbauelemente und optische Beschichtungen Anwendung.
Für die Bestimmung der Dielektrizitätskonstante und der magnetischen Permeabilität von Dünnschichtmaterialien bietet Tonghui mit dem Impedanzanalysator TH2851 in Kombination mit geeigneten Messvorrichtungen und Software eine vollständige Lösung.
Lösungsdetails
Messobjekt:
Dünnschichtmaterial, Dicke: 10 μm–100 μm
Messanforderungen:
- Frequenzbereich: 1–20 MHz
- Permeabilitätsbereich: 50–200
Die komplexe Permeabilität wird durch die Messung der Impedanzparameter des magnetischen Materials berechnet. Dazu wird ein Draht um das magnetische Material gewickelt und die Impedanz am Ende des Drahtes gemessen.
Der TH26088 ist eine speziell entwickelte Messvorrichtung zur Bestimmung der magnetischen Permeabilität von magnetischen Materialien. Er kann mit einer Einwindungsinduktivität konfiguriert werden, wobei das Material in eine Ringform gebracht wird.
Bei dieser Einwindungsinduktivität tritt kein magnetischer Flussverlust auf. Das Magnetfeld innerhalb der Messvorrichtung wird auf Grundlage der elektromagnetischen Theorie präzise berechnet.
Instrumentenliste
- TH2851-030
- TH26088